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洁净室和高效过滤器的密封技术参数说明

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洁净室和高效过滤器的密封技术参数说明

高效过滤器洁净室和高效过滤器的密封是确保洁净室洁净度的关键因素之一。因此,在设计洁净室时就应该选择先进的密封技术和可靠的密封方法,一般常用的密封方法有:

1、接触填料密封:密封用填料有固体密封垫(如氯丁橡胶板、闭孔海绵橡胶板等)和液体密封胶(如:硅橡胶、氯丁橡胶、天然橡胶)。固体密封垫一般采用螺栓机械压紧,橡胶板的压缩量为30%~50%。液体密封胶时用填充和粘附方法密封。
2、液槽刀口密封:在槽型框架中注入一定高度的密封液体,高效过滤器的刀口插入密封液中,使两侧的空气通路受阻达到密封目的。该方法一般用于100级、10级和更高级别洁净度的洁净室密封。
3、负压泄漏密封:这种“密封”方法是利用正压空间泄漏的空气,人为疏导到工作区外的负压空间,确保工作区不受污染。一般用于小规模的洁净室密封,如负压顶棚。